A Sketch on Problems of Discharge Pumped Plasma EUV Sources

カテゴリ: 部門大会

論文No: (2)-6

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: Majid MASNAVI (東京工業大学),KIKUCHI Atsushi (東京工業大学),Mitsuo NAKAJIMA (東京工業大学),Tohru KAWAMURA (東京工業大学),Eiki HOTTA (東京工業大学),Kazuhiko HORIOKA (東京工業大学)

キーワード: EUV|Discharge plasma|Capillary|Pinch|Efficiency |Current control

PDFファイルサイズ: 1,020 Kバイト