パルスパワー生成Zピンチプラズマ方式半導体露光用EUV光源の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: (2)-7

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 寺本雄介 (EUVA),新美剛太 (EUVA),山谷大樹 (EUVA),上嶋悠生 (EUVA),白井隆宏 (EUVA),別所和典 (EUVA),堀田和明 (EUVA),吉岡正樹 (EUVA),佐藤弘人 (EUVA)

キーワード: EUV|Zピンチ|パルスパワー|リソグラフィー

PDFファイルサイズ: 1,088 Kバイト