DLC成膜用T字状フィルタードアーク蒸着装置における成膜速度改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: (3)-3

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 滝川浩史 (豊橋技術科学大学),岩崎康浩 (豊橋技術科学大学),南澤伸司 (豊橋技術科学大学),榊原建樹 (豊橋技術科学大学),長谷川祐史 (オンワード技研)

キーワード: 真空陰極アーク|T字状フィルタ|DLC成膜|プラズマ磁気輸送|成膜速度|ダクトバイアス

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