ESDによってトリガーされた真空中の放電現象の基礎研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: (3)-7

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 藤井治久 (奈良工業高等専門学校),神宮司啓太 (奈良工業高等専門学校)

キーワード: ESD|真空放電

PDFファイルサイズ: 757 Kバイト