微細ガス流によるマイクロプラズマの雰囲気ガスとの相互作用

カテゴリ: 部門大会

論文No: (7)-2

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 横山拓馬 (東京工業大学),山内隆彦 (東京工業大学),井深真治 (東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学),石井彰三 (東京工業大学)

キーワード: マイクロプラズマ|微細ガス流|グロー状放電|自己パルス放電

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