大気圧マイクロ波H2Oプラズマ源の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: (7)-4

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

タイトル：大気圧マイクロ波H₂Oプラズマ源の開発

著者名: 海野真 (武蔵工業大学),松尾雄平 (武蔵工業大学),小野茂 (武蔵工業大学)

キーワード: 大気圧プラズマ|H2O|回転温度

PDFファイルサイズ: 4,220 Kバイト