ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: (7)-6

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 斉藤隆雄(日本ガイシ),近藤好正(日本ガイシ／東京工業大学),寺澤達矢(日本ガイシ),大竹尚登(東京工業大学)

キーワード: ナノパルス|電子密度|電子温度|アフターグロー|ダイヤモンド状炭素

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