AD法によるナノ結晶窒化アルミ膜の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: (8)-2

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 岩田篤 (産業技術総合研究所),明渡純 (産業技術総合研究所)

キーワード: AD法|ITO|常温成膜

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