溶液中におけるナノシリコン粒子の経時変化

カテゴリ: 部門大会

論文No: (8)-4

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 篠田浩一 (東京電機大学),柳澤聡 (東京電機大学),佐藤慶介 (東京電機大学),平栗健二 (東京電機大学)

キーワード: ナノSi粒子|RFスパッタリング法|ウェットプロセス|可視発光

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