ガスフロースパッタ法による低温結晶化における衝撃イオンの最適エネルギー

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-18

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 渡辺康治 (宇都宮大学),齋藤和史 (宇都宮大学),古谷健悟 (宇都宮大学),佐久間洋志 (宇都宮大学),石井清 (宇都宮大学)

キーワード: ガスフロースパッタ法|イオンアシスト|低温結晶化|スパッタリング

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