大気圧マイクロ波プラズマ中の酸素プラズマ密度

カテゴリ: 部門大会

論文No: III-5

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 菅沼拓也 (武蔵工業大学),小野茂 (武蔵工業大学)

キーワード: 大気圧| マイクロ波| プラズマ| ラジカル

PDFファイルサイズ: 647 Kバイト