Extraction of charge particles from confronted electrode type HPPS (High Power Pulsed Sputtering) Glow Discharge with several tens of kilo-watts

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-1

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 行村建 (同志社大学),三枝亮介 (同志社大学),玉垣浩 (神戸製鋼所),沖本忠雄 (神戸製鋼所)

キーワード: HIPIMS| HPPMS| HPPS| パルスグロー| マグネトロンスパッタ

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