1次元流体モデル解析によるCH4/H2プラズマ中のカーボンナノチューブ成長寄与種生成量の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: V-1

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 日詰洋平 (北海道大学),小田昭紀 (名古屋工業大学),菅原広剛 (北海道大学)

キーワード: ハイドロカーボンプラズマ| 容量結合型プラズマ| カーボンナノチューブ| 流体モデル| シミュレーション| 高周波放電プラズマ

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