C8F18プラズマCVDによるa-C:F膜の作成と堆積機構の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: V-2

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 山内達也 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学),水野巧一朗 (北海道大学),酒井洋輔 (北海道大学)

キーワード: プラズマCVD| C8F18| 非晶質フッ化炭素膜| 積層堆積

PDFファイルサイズ: 6,764 Kバイト