CF4 RFプラズマのバルクにおける電界応答特性及び衝撃電界重畳法による反応促進効果の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: V-3

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 江口礼良 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学)

キーワード: CF4プラズマ| 流体モデル| 衝撃電界重畳法| プラズマバルク

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