CHF3プラズマの解析(3) 低気圧RF電界下の電子輸送係数の算出

カテゴリ: 部門大会

論文No: V-4

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 齊藤隆典 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学)

キーワード: プラズマ| CHF3| 電子群進展| シミュレーション

PDFファイルサイズ: 4,706 Kバイト