Co-Smアモルファス薄膜の高周波特性とRu下地膜による熱処理挙動改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: VIII-2

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 池田賢司 (太陽誘電),鈴木利昌 (太陽誘電),佐藤敏郎 (信州大学)

キーワード: Co-Sm| アモルファス| 異方性磁界| 透磁率| 高周波| 下地膜

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