光活性を有するTiO2薄膜の電気的性質に及ぼす成膜ガス圧依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: X-10

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 笈沼義浩 (日本大学)

キーワード: TiO2| 薄膜| 成膜条件| 電気抵抗率| 移動度| ホール係数

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