反応性スパッタリング法により作製された酸化チタン薄膜の光伝導特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: X-11

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: ハイデルアリ (工学院大学),永井裕己 (工学院大学),佐藤光史 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: 酸化チタン| 電気的特性| 光伝導

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