Ar中におけるMgO薄膜の二次電離係数の測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVII-4

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 鈴木進 (千葉工業大学),今野和弥 (千葉工業大学),伊藤晴雄 (千葉工業大学)

キーワード: 二次電離係数| Ar| MgO

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