窒素マイクロプラズマの安定形成における数値解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVII-8

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 山下達也 (首都大学東京),内田諭 (首都大学東京),杤久保文嘉 (首都大学東京)

キーワード: 誘電体バリア放電| マイクロプラズマ| 窒素| シミュレーション

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