小径円柱面への高精度投影露光とマイクロ軸流ポンプシャフトの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: XIX-1

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 堀内敏行 (東京電機大学),林直樹 (東京電機大学)

キーワード: 光リソグラフィ| 投影露光| マイクロ軸流ポンプ| 円柱面露光| 寸法精度

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