SPM局所酸化における反応電流の探針-試料間距離依存

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-12

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 菅沼秀教 (横浜国立大学),進藤僚平 (横浜国立大学),山田努 (横浜国立大学),白樫淳一 (東京農工大学),竹村泰司 (横浜国立大学)

キーワード: 原子間力顕微鏡| ナノリソグラフィ

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