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アルミナセラミックスおよびPTFEに対する電子衝撃脱離ガス分析
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カテゴリ: 部門大会
論文No: P-13
グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2008/08/21
著者名: 松澤仁 (埼玉大学),山納康 (埼玉大学),小林信一 (埼玉大学),齊藤芳男 (高エネルギー加速器研究機構),道園真一郎 (高エネルギー加速器研究機構)
キーワード: 真空| 沿面放電| アルミナセラミックス| PTFE| ガス放出
PDFファイルサイズ: 898 Kバイト
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