N添加TiO2薄膜の光機能特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-22

グループ名: 【A】平成20年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/21

著者名: 田中啓太 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: TiO2薄膜| 光機能特性| 反応性スパッタリング

PDFファイルサイズ: 932 Kバイト