NLDプラズマの解析(II) 電子空間分布のモンテカルロシミュレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: O-9-I

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 大佐賀毅 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学),櫻井洋平 (北海道大学),村山明宏 (北海道大学)

キーワード: NLDプラズマ| モンテカルロ法| 電子運動| エッチング

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