ミラートロンスパッタリング法によるフレキシブル太陽電池用ITO膜の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: O-14-I

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 湯地敏史 (宮崎大学),川野美延 (宮崎大学),清田佑一 (宮崎大学),中林健一 (宮崎大学),平田豊明 (薄膜プロセス)

キーワード: ミラートロンスパッタリング| フレキシブル太陽電池| ITO膜| PENフィルム

PDFファイルサイズ: 908 Kバイト