窒素イオン照射を用いたPTFE表面改質におけるイオンエネルギー依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: O-111-II

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 中山明彦 (東京都市大学),岩尾徹 (東京都市大学),湯本雅恵 (東京都市大学)

キーワード: 窒素イオン| イオンエネルギー| PTFE| 表面改質

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