PZTフィルムとBN微粒子によりマイクロギャップを形成したPZTエレクトレットマイクロフォンの製作と性能評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: O-133-I

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 藤井裕崇 (埼玉大学)

キーワード: エレクトレット| マイクロギャップ| 電界| 分極| 超音波測定| マイクロフォン

PDFファイルサイズ: 353 Kバイト