PFAフィルムとBN微粒子によりマイクロギャップを形成したPZTエレクトレット超音波プローブの製作と性能評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: O-134-I

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 芝田佑介 (埼玉大学)

キーワード: PZT| エレクトレット| 超音波プローブ| 強誘電体

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