二次電子銃を用いたVOCの分解処理

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-20

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 加藤大輔 (東京工業大学),清水政志 (東京工業大学),渡辺正人 (東京工業大学),沖野晃俊 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学)

キーワード: VOC| 電子ビーム| 二次電子| プラズマ

PDFファイルサイズ: 732 Kバイト