イオン注入法によるTiO2薄膜光機能特性の改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-25

グループ名: 【A】平成21年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/10

著者名: 田中啓太 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: イオン注入法| 反応性スパッタリング| 光機能特性| TiO2薄膜

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