大気圧線状プラズマを用いたアモルファスカーボン成膜実験

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-2

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 菊池祐介 (兵庫県立大学),宮前公準 (兵庫県立大学),松尾吉晃 (兵庫県立大学),堀口恭光 (栗田製作所),西村芳実 (栗田製作所),永田正義 (兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| アモルファスカーボン膜

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