大気圧沿面放電プラズマを用いたシリコンのマスクレスエッチング技術に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-5

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 水本貴之 (宮崎大学),有村拓也 (宮崎大学),平野啓太 (宮崎大学),迫田達也 (宮崎大学)

キーワード: マスクレスエッチング| 沿面放電| シリコン| 窒化シリコン

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