高周波プラズマCVD法による表面処理技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-9

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 上杉大志郎 (宮崎大学),川野美延 (宮崎大学),清田佑一 (宮崎大学),湯地敏史 (宮崎大学),中林健一 (宮崎大学),片岡久明 (南九州短期大学),須崎嘉文 (香川大学),柏原伸紀 (ADTECプラズマテクノロジー)

キーワード: プラズマCVD| 接触角| XPS| 表面処理| 太陽電池| Ar＋N2ガス

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