Development of a Waveguide-Based Microwave Plasma Jet at Atmospheric Pressure for Fundamental Study on Plasma-Wall Interaction

カテゴリ: 部門大会

論文No: V-3

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: AbdurRazzak (Aichi Institute of Technology),高村秀一 (Aichi Institute of Technology),内山雄貴 (Aichi Institute of Technology)

キーワード: atmospheric pressure plasma| microwave plasma jet| TIAGO nozzle| plasma-wall interaction| waveguide| FE-SEM

PDFファイルサイズ: 1,171 Kバイト