温度追随型Ar誘導熱プラズマへのN2ガス投入に対する温度リカバリ特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: V-4

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

タイトル：温度追随型Ar誘導熱プラズマへのN₂ガス投入に対する温度リカバリ特性

著者名: 上坂洋介 (金沢大学),坪川祐樹 (金沢大学),田中康規 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ| フィードバック制御| MOSFETインバータ| PID制御| 温度制御| ロバスト性

PDFファイルサイズ: 1,570 Kバイト