連鎖電離による大容量プラズマ生成における電離タイミングの効果の観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: VII-2

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 戸丸希 (山形大学),山田竜成 (山形大学),南谷靖史 (山形大学)

キーワード: 大容量| プラズマ| 有害物処理

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