集束イオンビームによるダイヤモンド状炭素へのガリウムイオン注入

カテゴリ: 部門大会

論文No: X-2

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 金子貴慶 (日本大学),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: 集束イオンビーム| ダイヤモンド状炭素| イオン注入

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