赤外光支援パルスレーザ堆積法による酸化亜鉛の低温成膜と電気的特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-4

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 上原朋之 (日本大学),胡桃聡 (日本大学),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: 酸化亜鉛| PLD法| パルスレーザ堆積法| 半導体| 発光素子| IR

PDFファイルサイズ: 1,385 Kバイト