RFマグネトロンスパッタリング法による酸化ニオブ膜の諸物性

カテゴリ: 部門大会

論文No: XII-4

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 杉崎紀彦 (日本大学),新妻清純 (日本大学),移川欣男 (日本大学)

PDFファイルサイズ: 1,292 Kバイト