高品質DLC膜形成に向けた真空アークプラズマビームの制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: B-1

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 滝川浩史 (豊橋技術科学大学),奥田浩史 (豊橋技術科学大学),柏木大幸 (豊橋技術科学大学),田上英人 (豊橋技術科学大学),神谷雅男 (伊藤光学工業),柳田太一郎 (豊橋技術科学大学),須田善行 (豊橋技術科学大学),長谷川祐史 (オンワード技研),安井治之 (石川県工業試験場),石川剛史 (日立ツール)

キーワード: 真空アーク| プラズマビーム| ビームスキャン| 磁界制御| 水素フリーDLC膜

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