低気圧放電プラズマを用いた短波長光源の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: B-13

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 渡辺正人 (東京工業大学),酒井雄祐 (東京工業大学),朱秋石 (東京工業大学),黄斌 (東京工業大学),石塚裕也 (東京工業大学),滝本泰大 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学)

キーワード: 光源| 放電プラズマ| 極端紫外| レーザ

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