PECVD法による環境セル透過型電子顕微鏡用アモルファスホウ素系隔膜の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-37

グループ名: 【A】平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/13

著者名: 筒井秀徳 (近畿大学),松谷貴臣 (近畿大学),川崎忠寛 (名古屋大学)

キーワード: PECVD| 隔膜| 環境セル型透過電子顕微鏡

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