反応性スパッタリング法によるTiO2薄膜の光伝導特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: III-7

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: ShukurHaider (工学院大学),佐藤光史 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング| TiO2| 光伝導特性

要約(日本語): 調査対象とした光機能は，TiO2の代表的な性質である光触媒特性と光伝導特性である。特に光伝導特性は半導体や絶縁体において，価電子帯や不純物準位などにある電子が光子のエネルギーを吸収し伝導帯へ励起され導電性が増す(16)(17)とされ，CdSに代わるフォトセンサー等への応用が期待できる。

PDFファイルサイズ: 1,113 Kバイト