音波を用いた帯電計測手法の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: VII-8

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 菊永和也 (産業技術総合研究所),蒲原敏浩 (産業技術総合研究所),坂井一文 (産業技術総合研究所),野中一洋 (産業技術総合研究所)

キーワード: 静電気| 帯電| 音波振動| 電磁界

要約(日本語): 静電気は電子、精密機器、フィルム製造などの様々な分野の生産現場で不規則に発生し、静電気放電破壊や誤作動などの障害を引き起こしている。そこで、生産現場では、各プロセス工程間に発生する静電気をリアルタイムで計測できる技術の開発が切望されている。本研究では非接触で遠方かつ様々な角度で計測可能な音波を用いた新規帯電計測手法の開発を行ったので、その結果について報告する。

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