変調誘導熱プラズマを用いた高速浸炭処理における変調パラメータの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-3

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 春多洋佑 (金沢大学),藤本健太 (金沢大学),田中康規 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学)

キーワード: 熱プラズマ| パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)| 表面改質| 浸炭処理| XRD分析

要約(日本語): 本研究室ではこれまでパルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)を用いてチタン表面の窒化処理実験を行った。その結果、変調を行うことで定常熱プラズマより窒化処理促進効果があることが分かっている。今回PMITPを用いた材料表面改質の新しい可能性を探るため、メタンガスを使った浸炭処理実験を行った。その結果、浸炭処理においても変調を行うことで定常熱プラズマより浸炭処理促進効果があることを確認した。

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