タンデム型変調誘導熱プラズマの動的挙動

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-5

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 倉石克弥 (金沢大学),赤尾美香 (金沢大学),田中康規 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学)

キーワード: タンデム型| 誘導熱プラズマ| 高周波電源| AM変調

要約(日本語): 筆者らは、コイル電流をAM変調することにより高周波誘導熱プラズマ（ICTP）を時間軸制御してきた。今回ICTPに空間的な変調制御を加えるためにRF電源を2つ用い、それぞれを上段・下段コイルに接続し2段構成とした。上段・下段コイル電流をAM変調することにより、熱プラズマを時空間的に変化させる。このタンデム型変調誘導熱プラズマの温度、電源応答などの動的挙動の検討を行った。

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