レーザアブレーションプラズマの電子密度測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-1

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 武藤敬宏 (東京工業大学),QuishiZhu (東京工業大学),渡辺正人 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学)

キーワード: プラズマ| EUVリソグラフィ| 電子密度

要約(日本語): EUVリソグラフィ光源として用いられるレーザアシスト型放電生成Snプラズマの初期プラズマである，レーザ生成プラズマのパラメータ解析を行った。本実験で発生するプラズマは局所熱平衡状態にあるため，スペクトルの広がりはシュタルク広がりが支配的であり，観測されるスペクトル形状は機械広がりとの畳み込みとなる。この仮定を元に4つのSn IIスペクトル広がりを観測し，電子密度を測定した。

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