微細ガス流を用いた大気圧パルス・マイクロ放電の予備放電による安定生成

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-3

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 菊地淳 (東京工業大学),鈴木雄太 (東京工業大学),武藤貴昭 (東京工業大学),井深真治 (東京工業大学),石井彰三 (東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学)

キーワード: マイクロプラズマ| パルス・マイクロ放電| 予備放電

要約(日本語): 高繰り返しの大気圧パルス・マイクロ放電を、各パルス電圧に対し、直流予備放電を加えることにより、再現性よく安定に生成できる手法を開発し、その効果を実証した。ノズル対ホロー電極間で直流予備放電を生成し、Heガス流と活性粒子を含むHeガス流を、微小ギャップの主電極間に導入すると、放電開始電圧の低減化がはかれるとともに、電極の極性により放電特性を多様に制御できた。

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